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J-GLOBAL ID:200903001871796043
光学機器及び画像処理法とその装置
Inventor:
,
Applicant, Patent owner:
,
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1993224009
Publication number (International publication number):1995092393
Application date: Jul. 16, 1993
Publication date: Apr. 07, 1995
Summary:
【要約】 (修正有)【目的】光学機器の観察物を動かす事無く観察範囲の移動を行う。【構成】回転軸16に対し複数の鏡面17がそれぞれ異なる傾きを有する回転式反射鏡を観察物と対物レンズとの中間に設けた事を特徴とする光学機器で反射鏡の取り付け軸を中心に回転することにより鏡と対物レンズとを結ぶ光軸と鏡面との角度が変化することにより観察範囲が上下左右に移動する。【効果】特に画像処理装置を搭載した光学機器では従来観察物を載せたステージの移動に長時間を要していた為検査時間の大幅な短縮が困雛であったが回転式反射鏡を使用することにより撮像デバイスのシャッター開口時間、信号読みだし速度、画像信号のバッファーメモリー容量、光電素子の感度、照明の輝度、反射鏡の回転速度等の調整により観察エリアの移動時間はオートステージ使用時の数十分の一から数百分の一に短縮することが可能となる。
Claim (excerpt):
観察対象物と対物レンズとの間に可動式で、而も反射鏡やプリズム等の光線の方向を変化させる機能を有するものを設けた事を特徴とする光学機器。
IPC (7):
G02B 21/00
, A61B 1/00 300
, A61B 1/04 370
, G06T 1/00
, H04N 5/222
, G02B 23/24
, G02B 26/08
FI (3):
G06F 15/62 380
, G06F 15/64 320 C
, G06F 15/64 320 E
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