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J-GLOBAL ID：200903001872147294
カラーフィルタの製造法
Inventor：
,
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
若林 邦彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996223602
Publication number (International publication number)：1998062618
Application date： Aug. 26, 1996
Publication date： Mar. 06, 1998
Summary：
【要約】【課題】 現像残渣の発生がなく現像性が優れ、微細パターンの形成性が優れたカラーフィルタの製造法を提供する。【解決手段】 (I)基板上に着色された感光性樹脂層を形成する工程、(II)パターン状に露光する工程及び(III)現像液を用いて現像する工程を含む工程を繰り返すことによって、多色のパターンを形成するカラーフィルタの製造法において、着色された感光性樹脂層が、酸価が80〜200の有機高分子化合物を含み、現像液が、4ほう酸ナトリウムとシュウ酸ナトリウム又はシュウ酸カリウムとを含む水溶液であることを特徴とするカラーフィルタの製造法。
Claim (excerpt)：
(I)基板上に着色された感光性樹脂層を形成する工程、(II)パターン状に露光する工程及び(III)現像液を用いて現像する工程を含む工程を繰り返すことによって、多色のパターンを形成するカラーフィルタの製造法において、着色された感光性樹脂層が、酸価が80〜200の有機高分子化合物を含み、現像液が、4ほう酸ナトリウムとシュウ酸ナトリウム又はシュウ酸カリウムとを含む水溶液であることを特徴とするカラーフィルタの製造法。
IPC (4)：
G02B 5/20 101
, G03F 7/004 505
, G03F 7/033
, G03F 7/32
G02B 5/20 101
, G03F 7/004 505
, G03F 7/033
, G03F 7/32
