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J-GLOBAL ID:200903001889294991

基板表面多層膜の層別分析方法

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 柳原 成
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2001226438
Publication number (International publication number):2003045927
Application date: Jul. 26, 2001
Publication date: Feb. 14, 2003
Summary:
【要約】【課題】 基板表面多層膜を各層毎に分析することができる基板表面多層膜の層別分析方法、特に各層毎の不純物の分析に適した基板表面多層膜の層別分析方法を提案する。【解決手段】 少なくとも1層がシリコン膜である2層以上の多層膜が積層された基板において、その表面の多層膜の各層を選択的に溶解する溶解液を用いて表面層から各層を1層ずつ溶解し、この溶解液を各層毎に回収し、基板表面の多層膜を各層毎に分析する方法であって、前記シリコン膜を選択的に溶解する溶解液としてテトラアルキルアンモニウムハイドロオキサイドを含む水溶液を用いる基板表面多層膜の層別分析方法。
Claim (excerpt):
少なくとも1層がシリコン膜である2層以上の多層膜が積層された基板において、その表面の多層膜の各層を選択的に溶解する溶解液を用いて表面層から各層を1層ずつ溶解し、この溶解液を各層毎に回収し、基板表面の多層膜を各層毎に分析する方法であって、前記シリコン膜を選択的に溶解する溶解液としてテトラアルキルアンモニウムハイドロオキサイドを含む水溶液を用いる基板表面多層膜の層別分析方法。
F-Term (7):
4M106AA01 ,  4M106AA10 ,  4M106AA13 ,  4M106BA12 ,  4M106CA29 ,  4M106DH11 ,  4M106DH55
Patent cited by the Patent:
Cited by applicant (10)
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Cited by examiner (7)
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