荷電粒子発生装置及びその発生方法

Inventor： , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：井上一 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002021641
Publication number (International publication number)：2002334663
Application date： Jan. 30, 2002
Publication date： Nov. 22, 2002
Summary：

【要約】【課題】真空排気系を小型に維持しながら、1台の装置をイオン源と電子源とに切り換えて使用することができる荷電粒子発生装置及びその発生方法を提供すること。【解決手段】イオン発生モードとエレクトロン発生モードとが切り換え可能な荷電粒子発生装置及びその方法である。イオン発生モードでは、荷電粒子発生電極100に設けられた原材料通路108を介して原材料を導いて、荷電粒子発生電極100の先端に原材料を供給する。さらに、荷電粒子発生電極100側を正極性とし荷電粒子引出し電極110側を負極性とする第1の電界を形成して、荷電粒子発生電極100より原材料からイオンを発生させる。エレクトロン発生モードでは、原材料供給部130からの原材料の供給を停止させる。さらに、荷電粒子発生電極100側を負極性とし荷電粒子引出し電極110側を正極性とする第2の電界を形成して、荷電粒子発生電極100自体よりエレクトロンを発生させる。

Claim (excerpt)：

基端部から自由端部に連通する原材料通路を有する荷電粒子発生電極と、前記基端部に連結され、前記荷電粒子発生電極の前記原材料通路に原材料を供給する原材料供給部と、前記荷電粒子発生電極の前記自由端部との間に電界を形成する荷電粒子引出し電極と、を有することを特徴とする荷電粒子発生装置。

IPC (3)：

H01J 27/26 , H01J 37/073 , H01L 21/027

FI (3)：

H01J 27/26 , H01J 37/073 , H01L 21/30 541 B

F-Term (5)：

5C030CC01 , 5C030CC10 , 5C030DF02 , 5F056CB01 , 5F056EA02

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (10)

特開昭64-043961
特開昭60-262966
拡散補給型電子源、その製造方法および電子線装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平10-026804 Applicant：株式会社日立製作所

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