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J-GLOBAL ID：200903001901206700

ゾル・ゲル法による結晶性薄膜の形成方法

Inventor： 倉田 奈津子 ,  山下 洋子 ,  桑原 誠 ,  小林 伸行
Applicant, Patent owner： 福岡県
Agent (1)： 中前 富士男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999200816
Publication number (International publication number)：2001026421
Application date： Jul. 14, 1999
Publication date： Jan. 30, 2001
Summary：

【要約】【課題】 低温で結晶化するゾル・ゲル法による結晶性薄膜の形成方法を提供する。【解決手段】 複数種の金属アルコキシドを高濃度で溶かしたぺロブスカイト化合物の前駆体組成物溶液を製造する第1工程と、前駆体組成物溶液を低温制御し、水蒸気により一部加水分解した中間反応溶液を製造する第2工程と、中間反応溶液を基板上にコーティングし、エージングすることにより結晶化させる第3工程とを有している。

Claim (excerpt)：

複数種の金属アルコキシドを高濃度で溶かしたぺロブスカイト化合物の前駆体組成物溶液を製造する第1工程と、前記前駆体組成物溶液を低温制御し、水蒸気により一部加水分解した中間反応溶液を製造する第2工程と、前記中間反応溶液を、基板上にコーティングし、エージングすることにより結晶化させる第3工程とを有することを特徴とするゾル・ゲル法による結晶性薄膜の形成方法。

IPC (3)：

C01G 1/02 ,  C01G 23/00 ,  H01L 21/316

FI (3)：

C01G 1/02 ,  C01G 23/00 C ,  H01L 21/316 U

F-Term (10)：

4G047CA02 ,  4G047CB06 ,  4G047CC03 ,  4G047CD02 ,  5F058BA20 ,  5F058BC03 ,  5F058BC04 ,  5F058BC20 ,  5F058BF46 ,  5F058BH01