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J-GLOBAL ID：200903001906556547
ガス拡散防止ゲート及び該ガス拡散防止ゲートを備えた成膜装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
若林 忠
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992310529
Publication number (International publication number)：1994159523
Application date： Nov. 19, 1992
Publication date： Jun. 07, 1994
Summary：
【要約】【目的】 長尺基板の振動や波打ちを防止し、かつガス分離性能の向上を図る。【構成】 成膜装置は、帯状の長尺基板31をその長手方向に連続して搬送させて複数の成膜室23,24を通過させ、長尺基板31に機能性膜を連続的に形成するものであり、成膜室23,24間の分離用通路25には同一構造の2つのゲート1,12が設けられている。ゲート1は、長尺基板31の通る開口部(スリット)10が形成された仕切板11を備えた弁本体6と、該弁本体6を長尺基板31の成膜面側(図示下方)に付勢して、長尺基板31に張力を与える付勢手段としてのコイルばね3と、シールケース2と等で構成されている。
Claim 1：
帯状の長尺基板をその長手方向に連続して搬送させて複数の成膜室を通過させ、前記連続基板に膜を連続的に形成する成膜装置の、各成膜室間の分離用通路に設けられるガス拡散防止ゲートにおいて、前記長尺基板の通るスリットが形成された弁体と、該弁体を前記長尺基板の成膜面側に付勢して、前記長尺基板に張力を与える付勢手段と、を備えたことを特徴とするガス拡散防止ゲート。
IPC (2)：
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