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J-GLOBAL ID:200903001914250384
感放射線性樹脂組成物の調製法
Inventor:
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Applicant, Patent owner:
Agent (1):
久保山 隆 (外1名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1993041176
Publication number (International publication number):1994258825
Application date: Mar. 02, 1993
Publication date: Sep. 16, 1994
Summary:
【要約】【目的】 比較的大きい非溶解粒子数が調製時及び長期保存後に少ない、感放射線性樹脂組成物の調製法を提供する。【構成】 アルカリ可溶性樹脂、感放射線性化合物、溶剤及び必要に応じて分子量900 未満のアルカリ可溶性化合物を含む感放射線性樹脂組成物の調製法であって、アルカリ可溶性樹脂、溶剤及び必要に応じて分子量900 未満のアルカリ可溶性化合物を混合して溶液を得ること、並びに得られた溶液と感放射線性化合物とを混合して溶解することを特徴とする感放射線性樹脂組成物の調製法。
Claim (excerpt):
感放射線性化合物、アルカリ可溶性樹脂、溶剤及び必要に応じて分子量900 未満のアルカリ可溶性化合物を含む感放射線性樹脂組成物の調製法であって、アルカリ可溶性樹脂、溶剤及び必要に応じて分子量900 未満のアルカリ可溶性化合物を混合して溶液を得ること、並びに、得られた溶液と感放射線性化合物とを混合して溶解することを特徴とする感放射線性樹脂組成物の調製法。
IPC (3):
G03F 7/022
, B01F 1/00
, G03F 7/023
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (3)
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特開平2-254451
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特公昭54-004530
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特開昭55-105052
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