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J-GLOBAL ID：200903001915963457

マグネトロンスパッタリングカソード

Inventor： 近藤 健治
Applicant, Patent owner： 富士電機株式会社
Agent (1)： 山口 巖
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992116481
Publication number (International publication number)：1993311430
Application date： May. 11, 1992
Publication date： Nov. 22, 1993
Summary：

【要約】【目的】平板状の磁性体ターゲツトと、ターゲツト中央部背面側に配される, 磁化方向がターゲツトの面に垂直な第1の磁極と、第1の磁極をとり囲む, 磁化方向が第1の磁極と反対な第2の磁極と、第1, 第2の磁極のターゲツト側に配されターゲツトが背面を当接させて固定されるバッキングプレートとを備えたマグネトロンスパッタリングカソードを、少なくとも各磁極が冷却水と接触しないですむカソードに構成する。【構成】基本構成を、第1および第2の磁極がそれぞれその一部に永久磁石を直列に含み、かつバッキングプレートがターゲツトを冷却可能に形成されたものとする。具体構成として、永久磁石1, 2と直列な軟磁性材磁極3, 4に逆磁コイル5, 6, 7を付加してターゲツト取外し時に永久磁石1, 2の吸引力を弱めることができるようにし、またバッキングプレート8は内部を冷却水が貫流可能に形成する。

Claim (excerpt)：

前面側にプラズマが生成される平板状の磁性体ターゲツトと、該ターゲツトの中央部背面側に配される, 磁化方向がターゲツトの面に垂直な第1の磁極と、該第1の磁極をとり囲み磁化方向を第1の磁極と反対方向とした第2の磁極と、第1および第2の磁極の磁性体ターゲツト側に配されターゲツトが背面を当接させて固定されるバッキングプレートとを備えてなるマグネトロンスパッタリングカソードにおいて、第1および第2の磁極が少なくともその一部に永久磁石を直列に含むとともにバッキングプレートがターゲツトを冷却可能に形成されていることを特徴とするマグネトロンスパッタリングカソード。