Pat
J-GLOBAL ID：200903001923625684
真空ポンプの改良
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
中村 稔 (外6名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997047594
Publication number (International publication number)：1998002281
Application date： Mar. 03, 1997
Publication date： Jan. 06, 1998
Summary：
【要約】【課題】 大きな効率及び改善された真空性能の可能性をもたらす電磁作動式ピストンの真空ポンプを提供することにある。【解決手段】 真空ポンプはピストンの往復運動がソレノイド駆動装置(2)及び反作用ばね装置(31)によって行われる多段往復ピストン作動モードを有し、ポンプ段がポンプ入口(27)とポンプ出口(28)との間で直列に連結され、使用中、ポンプの中を移送されるガスが段の中を順に通る。
Claim (excerpt)：
ピストンの往復運動がソレノイド駆動装置及び逆作用ばね装置によって行われる多段往復ピストン作動モードを有し、ポンプ段がポンプ入口とポンプ出口との間で直列に連結され、使用中、ポンプの中を移送されるガスが段の中を順に通る、真空ポンプ。
IPC (2)：
FI (2)：
Return to Previous Page
