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J-GLOBAL ID：200903001936347926

静電吸着装置およびそれを用いた電子線描画装置

Inventor： 松島 勝 ,  佐藤 秀寿 ,  酒井 広之 ,  池田 和典 ,  福嶋 芳雅 ,  水野 一亥 ,  伊藤 博之 ,  斉藤 徳郎
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所
Agent (1)： 小川 勝男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996045817
Publication number (International publication number)：1997246366
Application date： Mar. 04, 1996
Publication date： Sep. 19, 1997
Summary：

【要約】【課題】電子線描画装置の静電吸着装置において、ウエハ表面の電位を抑え、電子ビームの軌道に影響を与えることがなく、さらに異物の発生を極力抑える静電吸着装置を備えた電子線描画装置を提供する。【解決手段】吸着対象であるウエハを再現性良く接地させるため、導通治具をウエハの側面もしくは裏面に接触させた後、圧電素子によって斜め方向に駆動する。このとき、ウエハの電位を測定しながら導通治具の駆動量を制御する。さらに、導通治具の近傍に排気手段を設ける。【効果】ウエハの電位を確認しながら導通を取ることにより、確実に接地することができる。また、圧電素子を用いて導通治具の駆動量を制御することにより、表面状態の異なるウエハに対しても最小限の傷に抑え、異物の発生の少ない最適な接地が可能となる。また、切り込み時に発生する異物の除去を行なうことができる。

Claim (excerpt)：

試料と誘電体との間に電圧を印加することによって、前記試料を前記誘電体上に吸着保持する静電吸着装置であって、前記静電吸着装置の周辺に、前記試料に対し斜め方向に力が作用する導通治具を配置したことを特徴とする静電吸着装置。

IPC (4)：

H01L 21/68 ,  B23Q 3/15 ,  H01L 21/027 ,  H02N 13/00

FI (4)：

H01L 21/68 R ,  B23Q 3/15 D ,  H02N 13/00 D ,  H01L 21/30 541 L