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J-GLOBAL ID:200903001943320120
半導体装置
Inventor:
Applicant, Patent owner:
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2006242648
Publication number (International publication number):2008066508
Application date: Sep. 07, 2006
Publication date: Mar. 21, 2008
Summary:
【課題】 ドリフト領域の寸法を大きくすることなく、必要な耐圧を確保することができ、あるいはさらに、耐圧の低下がなく、低オン抵抗化を図ることができる半導体装置を提供する。 【解決手段】 リサーフ構造の半導体装置であって、ゲート電極が積層形成されたゲート絶縁膜直下に、周囲をドリフト領域で囲まれたフローティング構造とした不純物領域を備える。この不純物領域の不純物濃度は、ドリフト領域と形成する接合の電界極大点の電界強度が、半導体装置の他の電界極大点の電界強度より小さいか、あるいは一致するよう設定されている。 【選択図】 図1
Claim (excerpt):
一導電型の半導体層表面に選択的に形成された、一導電型のボディー領域及び逆導電型のドリフト領域と、
前記ボディー領域表面に選択的に形成された逆導電型のソース領域と、
前記ドリフト領域表面に選択的に形成された逆導電型のドレイン領域と、
前記ソース領域と前記ドリフト領域との間の前記ボディー領域及び前記ソース領域側の前記ドリフト領域上に、ゲート絶縁膜を介して形成されたゲート電極と、
前記ソース領域に接続するソース電極と、
前記ドレイン領域に接続するドレイン電極とを備えた半導体装置において、
前記ゲート電極が積層形成された前記ゲート絶縁膜直下の前記ドリフト領域中に、周囲を前記ドリフト領域で囲まれ、前記ドリフト領域と形成する接合の電界極大点の電界強度が、前記ゲート電極エッジ直下の前記ドリフト領域部あるいは前記ゲート絶縁膜の厚さが厚くなる境界の前記ドリフト領域部、前記ドレイン領域と前記ドリフト領域との接合部のいずれかの電界極大点の電界強度より小さいか、あるいは略一致するよう設定された不純物濃度の一導電型の不純物領域が形成されていることを特徴とする半導体装置。
IPC (2):
FI (2):
H01L29/78 301D
, H01L29/78 616S
F-Term (30):
5F110AA07
, 5F110AA11
, 5F110BB12
, 5F110CC10
, 5F110DD05
, 5F110DD13
, 5F110FF12
, 5F110GG02
, 5F110GG12
, 5F110HJ01
, 5F110HJ04
, 5F110HJ06
, 5F110HM12
, 5F110HM15
, 5F140AA25
, 5F140AA30
, 5F140AC21
, 5F140AC36
, 5F140BB03
, 5F140BC06
, 5F140BD19
, 5F140BF01
, 5F140BF44
, 5F140BH17
, 5F140BH19
, 5F140BH30
, 5F140BH41
, 5F140BH43
, 5F140BH49
, 5F140BK13
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (13)
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高耐圧半導体装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2002-075849
Applicant:松下電器産業株式会社
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横型短チャネルDMOS及びその製造方法並びに半導体装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2004-045234
Applicant:新電元工業株式会社
-
特許第6168983号
-
グラウンドポテンシャルに接続されていないソース又はドレーンを有するHVp-チャンネル及びn-チャンネルデバイスを含む薄いエピタキシャルRESURF集積回路
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平8-134380
Applicant:エッセヂエッセ-トムソンマイクロエレクトロニクスエッセ・エッレ・エッレ
-
半導体装置及びその製造方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2005-171934
Applicant:松下電器産業株式会社
-
高耐圧半導体装置およびその製造方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平6-147309
Applicant:ローム株式会社
-
特開平3-227572
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電界効果トランジスタ
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平11-186341
Applicant:株式会社東芝
-
ハイサイド動作のパフォーマンスを向上させた高電圧トランジスタ
Gazette classification:公表公報
Application number:特願2009-508156
Applicant:オーストリアマイクロシステムズアクチエンゲゼルシャフト
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MISFETを有する半導体装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平3-277486
Applicant:富士電機株式会社
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半導体装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2005-169831
Applicant:トヨタ自動車株式会社, 株式会社豊田中央研究所
-
高耐圧半導体装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平5-211322
Applicant:日本電気株式会社
-
半導体装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平6-096929
Applicant:新電元工業株式会社
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