Pat

J-GLOBAL ID：200903001944446615

酸化チタンナノチューブの製造方法

Inventor： 臼井 弘紀 ,  田辺 信夫
Applicant, Patent owner： 株式会社フジクラ
Agent (4)： 志賀 正武 ,  高橋 詔男 ,  渡邊 隆 ,  青山 正和
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002340778
Publication number (International publication number)：2004175587
Application date： Nov. 25, 2002
Publication date： Jun. 24, 2004
Summary：

【課題】基板上に酸化チタンナノチューブを特別の製造設備を要することなく、しかも容易な操作で得ることができるようにする。【解決手段】アルミナ、金属チタン、ステンレス鋼、ポリテトラフルオロエチレンなどからなる基板上にスパッタ法などで厚さ1μm以下のチタン薄膜または酸化チタン薄膜を形成する。チタン薄膜についてはこれを酸化して酸化チタン薄膜とする。この酸化チタン薄膜が形成された基板を水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、水酸化カルシウム、水酸化マグネシウムなどのアルカリ水溶液中で加熱する。アルカリ水溶液のアルカリ濃度は1〜20モルが好ましく、反応条件は、温度50〜200°C、時間1〜100時間とすることが好ましい。基板1の表面に多数の酸化チタンナノチューブ2・・・が形成される。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

基板上に酸化チタン薄膜を形成し、ついでこの基板をアルカリ水溶液中で加熱して基板表面に酸化チタンナノチューブを形成することを特徴とする酸化チタンナノチューブの製造方法。

IPC (1)：

C01G23/047

FI (1)：

C01G23/047

F-Term (4)：

4G047CA02 ,  4G047CB05 ,  4G047CC03 ,  4G047CD01