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J-GLOBAL ID：200903001969197431

2次元アレイ超音波プローブ

Inventor： 橋本 新一 ,  斉藤 史郎 ,  泉 守 ,  小野 富男
Applicant, Patent owner： 株式会社東芝
Agent (1)： 鈴江 武彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993189402
Publication number (International publication number)：1995023500
Application date： Jun. 30, 1993
Publication date： Jan. 24, 1995
Summary：

【要約】【目的】圧電振動子をマトリクス状に切断する際の位置合わせを容易として、製造が簡単な2次元アレイ超音波プローブを提供することを目的とする。【構成】圧電体層11およびその両面に形成された第1および第2の電極12,13からなり、少なくとも圧電体層31と第1の電極32が複数の分割溝22によりマトリクス状に分割された圧電振動子アレイ10と、リジッド部15およびフレキシブル部16からなり、圧電振動子アレイ10をリジッド部15で支持すると共に、第1の電極32に電気的に接続された引き出し配線パターン17を有し、かつリジッド部15に分割溝22と連続した切り込み溝23を厚み方向の途中まで形成した配線基板14とを有する。

Claim (excerpt)：

圧電体層およびその両面に形成された第1および第2の電極からなり、少なくとも圧電体層と第1の電極が複数の分割溝によりマトリクス状に分割された圧電振動子アレイと、この圧電振動子アレイを支持すると共に、該圧電振動子アレイの前記第1の電極に電気的に接続された引き出し配線パターンを有し、かつ該圧電振動子アレイの支持部分に前記分割溝と連続した切り込み溝を厚み方向の途中まで形成した配線基板とを備えたことを特徴とする2次元アレイ超音波プローブ。

IPC (3)：

H04R 17/00 332 ,  H04R 17/00 330 ,  H01L 21/66