液晶表示装置及びその製造方法

Inventor： , , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：稲葉良幸 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997327900
Publication number (International publication number)：1998161158
Application date： Nov. 28, 1997
Publication date： Jun. 19, 1998
Summary：

【要約】【課題】液晶表示装置において、透明電極層とその下の絶縁膜との密着性を高めて界面へのエッチャントの浸透を防ぎ、透明電極層の正確なパターニングを可能にして画素電極の縁部から光が漏れることを防ぐ。【解決手段】ゲートバスライン117、データバスライン115及びスイッチング素子115a,115b,117a,122,125を覆う保護層126がベンゾシクロブテン(BCB)等の有機絶縁膜から形成され、前記保護層126の表面はスパッタエッチング法、ドライエッチング法、又はUV処理法等で粗くされる。前記スイッチング素子のドレイン電極115b部分の保護層にコンタクトホール131が形成される。保護層126の表面が荒れているため、その上に形成される透明電極層104との接着面積を大きくすることができて、保護層と透明電極層との界面にエッチャントは浸透しない。

Claim (excerpt)：

基板上に、ドレイン電極を有するスイッチング素子と、ゲートバス配線及びデータバス配線とを有する液晶表示装置において、前記基板上に前記ゲートバス配線、前記データバス配線及び前記スイッチング素子を覆うように保護層を形成する段階と、前記保護層の表面を粗くする段階と、前記スイッチング素子の前記ドレイン電極上に形成されている前記保護層の一部を除去してコンタクトホールを形成する段階と、前記保護層の粗い表面上に、前記コンタクトホールを通して前記ドレイン電極に連結される画素電極を形成する段階と、を含むことを特徴とする液晶表示装置の製造方法。

IPC (5)：

G02F 1/136 500 , G02F 1/1333 505 , G02F 1/1343 , H01L 29/786 , H01L 21/336

FI (8)：

G02F 1/136 500 , G02F 1/1333 505 , G02F 1/1343 , H01L 29/78 612 C , H01L 29/78 616 K , H01L 29/78 617 W , H01L 29/78 619 A , H01L 29/78 627 Z

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

特開平4-257826
特開昭63-168624
反射型液晶表示装置およびその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-080935 Applicant：シャープ株式会社

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