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J-GLOBAL ID：200903001993171079
赤外線検出素子
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
佐藤 成示 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993102396
Publication number (International publication number)：1994307925
Application date： Apr. 28, 1993
Publication date： Nov. 04, 1994
Summary：
【要約】【目的】 熱変化による特性変化が少なく、設計しやすく信頼性の高い赤外線検出素子の構造を提供する。【構成】 エッチング等により一部が貫通又は切り取られた基板2と、その基板2の貫通又は切り取られた部分(中空部2a)にまたがって形成される熱抵抗の大きな薄膜である熱絶縁膜3と、この熱絶縁膜3上に形成された薄膜センサ4と、その薄膜センサ4上に形成された赤外線吸収膜7よりなる赤外線検出素子1において、前記赤外線吸収膜7をスリット9によって少なくとも2以上に分割する。【効果】 赤外線吸収膜7をスリット9によって分割し赤外線吸収膜7の反りを抑えたので、薄膜センサ4であるサーミスタの抵抗値の増加と熱絶縁膜3の破壊を防止することができ、設計しやすく信頼性の高い赤外線検出素子1を提供できた。
Claim (excerpt)：
エッチング等により一部が貫通又は切り取られた基板と、その基板の貫通又は切り取られた部分にまたがって形成される熱抵抗の大きな薄膜である熱絶縁膜と、この熱絶縁膜上に形成された薄膜センサと、その薄膜センサ上に形成された赤外線吸収膜よりなる赤外線検出素子において、前記赤外線吸収膜が少なくとも2以上に分割されていることを特徴とする赤外線検出素子。
IPC (3)：
G01J 1/02
, G01J 5/02
, H01L 31/00
