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J-GLOBAL ID：200903001998173770
加速度センサおよびその製造方法
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
伊藤 洋二 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997349439
Publication number (International publication number)：1999072505
Application date： Dec. 18, 1997
Publication date： Mar. 16, 1999
Summary：
【要約】【課題】 アンカ部に対しおもり可動電極を梁部(バネ部)によって支持し、加速度が生じたときの梁部の変位を検出して加速度検出を行うようにした加速度センサにおいて、バネ部およびおもり可動電極の自重による変形を低減し、精度よく加速度の検出を行う。【解決手段】 基板30上にアンカ部11、固定電極14が固定され、おもり可動電極12が梁部13によってアンカ部11に支持されている。基板30の表面と平行な方向に加速度が生じたとき、梁部13が弾性変形して、おもり可動電極12の円周側面12aと固定電極14の円周側面14aとが接触し、所定値以上の加速度が生じていることが検出される。ここで、梁部13およびおもり可動電極12の表面に、引っ張り応力を有する膜15が形成されており、この膜15によって、梁部13およびおもり可動電極12の自重による変形が抑制される。
Claim (excerpt)：
基板(30)と、前記基板(30)上に固定して配設されたアンカ部(11)と、円周側面を有するおもり可動電極(12)と、一端が前記アンカ部(11)に固定され他端が前記おもり可動電極(12)に固定されており、前記基板(30)の表面と平行な方向に加速度が生じたとき、弾性変形して、前記おもり可動電極(12)を前記基板(30)の表面と平行な方向に変位させるバネ部(13)と、前記基板(30)上に固定して配設され、前記可動電極(12)の前記円周側面(12a)と所定間隔を隔てて対向する円周側面(14a)を有する固定電極(14)とを備え、前記おもり可動電極(12)の前記円周側面(12a)と前記固定電極(14)の前記円周側面(14a)との距離の変化に基づいて加速度を検出するようにした加速度センサであって、前記バネ部(13)が重力方向に変形するのを抑制する膜(15)を少なくとも前記バネ部(13)に形成したことを特徴とする加速度センサ。
IPC (4)：
G01P 15/125
, G01H 1/00
, G01P 15/02
, H01L 29/84
G01P 15/125
, G01H 1/00 B
, G01P 15/02 A
, H01L 29/84 Z
