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J-GLOBAL ID：200903001999474030

アルミニウム製チャンバ

Inventor： 栗山 和也 ,  鈴木 夏志
Applicant, Patent owner： 株式会社小松製作所
Agent (1)： 野口 武男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000360636
Publication number (International publication number)：2002164593
Application date： Nov. 28, 2000
Publication date： Jun. 07, 2002
Summary：

【要約】【課題】高温下にあるチャンバ内のガス及びチャンバ本体を効率的に冷却して、チャンバの熱変形をなくし、高精度の加工性と耐久性とが得られる高温雰囲気下に曝される各種の加工機のアルミニウム製チャンバを合理的な価格で提供する。【解決手段】同チャンバ本体(10)が押出しにより得られ、その押出と同時に例えば断面U字状の水冷用パイプ支持部(11)を突出成形して、例えば銅パイプ(12)を前記パイプ支持部(11)に嵌着後、同パイプ支持部(11)をかしめて銅パイプ(12)を密嵌固定する。

Claim 1：

過熱雰囲気下に置かれる各種のアルミニウム製チャンバであって、チャンバ本体が押出成形品からなり、同チャンバ本体に形成された各種の流体通路支持部がチャンバ本体の成形と同時に押出しにより成形されてなることを特徴とするアルミニウム製チャンバ。

IPC (4)：

H01S 3/041 ,  H01L 21/203 ,  H01L 21/205 ,  H01S 3/03

FI (4)：

H01L 21/203 S ,  H01L 21/205 ,  H01S 3/04 G ,  H01S 3/03 Z

F-Term (15)：

5F045EB02 ,  5F045EB03 ,  5F045EC09 ,  5F071AA06 ,  5F071FF09 ,  5F071JJ08 ,  5F072AA06 ,  5F072JJ08 ,  5F072TT01 ,  5F072TT03 ,  5F072TT04 ,  5F072TT11 ,  5F072TT22 ,  5F103AA08 ,  5F103BB60