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J-GLOBAL ID：200903002006408751

電圧制御発振器

Inventor： 川久保 隆 ,  阿部 和秀 ,  森塚 真由美
Applicant, Patent owner： 株式会社東芝
Agent (6)： 鈴江 武彦 ,  河野 哲 ,  中村 誠 ,  蔵田 昌俊 ,  村松 貞男 ,  橋本 良郎
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003327688
Publication number (International publication number)：2005094585
Application date： Sep. 19, 2003
Publication date： Apr. 07, 2005
Summary：

【課題】位相雑音にすぐれ広い周波数可変範囲を持つ電圧制御発振器を提供する。【解決手段】Si基板21上に形成されたアンカー部22と、アンカー部22により支持され、Si基板21と対向配置された下部電極24と、下部電極24上に形成された第1圧電体25と、第1圧電体25上に形成された上部電極26とを備えた薄膜圧電共振子20と、Si基板31上に形成された固定電極42と、Si基板31上に形成されたアンカー部38と、アンカー部38により支持され、Si基板31と対向配置された第1電極33と、第1電極33上に形成された第2圧電体34と、第2圧電体34上に形成された第2電極35とを備えたバリキャップ素子30とを備える。【選択図】 図1

Claim (excerpt)：

第1の基板と、 前記第1の基板上に形成された第1の支持部と、 前記第1の支持部により支持され、前記第1の基板と対向配置された下部電極と、 前記下部電極上に形成された第1の圧電体と、 前記第1の圧電体上に形成された上部電極と を備えた圧電共振子と、 第2の基板と、 前記第2の基板上に形成された固定電極と、 前記第2の基板上に形成された第2の支持部と、 前記第2の支持部により支持された第1の電極と、前記第1の電極上に形成された第2の圧電体と、前記第2の圧電体上に形成された第2の電極とを備えたアクチュエータと、 前記第2の基板と対向配置され、前記アクチュエータと機械的に接続され、かつ前記下部電極及び上部電極のいずれか一方と電気的に接続された可動電極と を備えたバリキャップ素子と を具備してなることを特徴とする電圧制御発振器。

IPC (5)：

H03B5/30 ,  H03B5/32 ,  H03B5/36 ,  H03H9/02 ,  H03H9/17

FI (5)：

H03B5/30 D ,  H03B5/32 Z ,  H03B5/36 ,  H03H9/02 K ,  H03H9/17 F

F-Term (23)：

5J079AA03 ,  5J079BA01 ,  5J079BA17 ,  5J079DA15 ,  5J079FA02 ,  5J079FA14 ,  5J079FA15 ,  5J079FA21 ,  5J079FA26 ,  5J079GA03 ,  5J079HA22 ,  5J079HA30 ,  5J108AA06 ,  5J108BB07 ,  5J108BB08 ,  5J108CC04 ,  5J108DD01 ,  5J108DD06 ,  5J108DD07 ,  5J108EE03 ,  5J108EE04 ,  5J108EE07 ,  5J108FF05

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• 電圧制御発振器
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平10-285945   Applicant：ティーディーケイ株式会社
• 特表昭63-501993