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J-GLOBAL ID：200903002014075214

研磨製品用のバックアップパッドとその製造方法

Inventor： エドワード・エル・マナー ,  デイビッド・シー・ローカー
Applicant, Patent owner： ミネソタ マイニング アンド マニュファクチャリング カンパニー
Agent (1)： 青山 葆 (外1名)
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：2000582196
Publication number (International publication number)：2002529264
Application date： Feb. 24, 1999
Publication date： Sep. 10, 2002
Summary：

【要約】研磨製品を支持するためのバックアップパッド(10)である。本発明の好ましい実施態様は、吸塵溝(30)を有するバックアップパッド(10)を提供し、このバックアップパッドでは、係合要素(18)は支持部材(12)の第1の主面(14)に、また溝表面(32)に取り付けられる。本発明はまた、吸塵溝(30)を有するバックアップパッド(10)を形成するための方法を提供する。

Claim (excerpt)：

研磨製品を支持するためのバックアップパッドを製造する方法であって、 a)第1の主面と、前記第1の主面と反対側の第2の主面とを含む支持部材を提供し、前記第1の主面が支持面と吸塵溝とを含み、前記吸塵溝が溝表面を含む、ステップと、 b)係合要素を前記支持部材の第1の主面と、前記溝表面とに取り付けるステップと、を含む方法。

F-Term (9)：

3C063AB05 ,  3C063BG01 ,  3C063BG04 ,  3C063BG05 ,  3C063BG07 ,  3C063BH12 ,  3C063BH14 ,  3C063CC17 ,  3C063FF20