Pat

J-GLOBAL ID：200903002018362285

イオン源および該イオン源を用いた中性粒子入射装置

Inventor： 浅野 史朗 ,  奥山 利久
Applicant, Patent owner： 株式会社東芝
Agent (1)： 鈴江 武彦 (外6名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000102366
Publication number (International publication number)：2001289982
Application date： Apr. 04, 2000
Publication date： Oct. 19, 2001
Summary：

【要約】【課題】 本発明は、大電流ビームの引き出しを可能し、安定な動作と高い信頼性を有するイオン源および該イオン源を用いた中性粒子入射装置を提供する。【解決手段】 真空に排気され放電プラズマの原料ガスを供給される放電容器1、アーク放電により放電プラズマを生成する電源23、24、放電プラズマをカスプ磁場によって閉じ込めるため、放電容器外壁に壁面に垂直な方向に着磁され、かつ互いに平行に隣り合う磁極が異なるように配置される永久磁石12、13、及び放電プラズマからイオンを引き出して加速するためビーム引き出し孔が穿孔された電極4を有するイオン源において、放電容器1の内部にイオンが放電容器外部に引き出される方向に平行な面内において仕切り磁石25を設置して放電容器1を複数の放電領域26、27に分割して各放電領域において大電力放電を行い、大電流ビームの引き出しを実現した。

Claim (excerpt)：

真空に排気され放電プラズマの原料ガスを供給される放電容器、アーク放電により放電プラズマを生成する電源、放電プラズマをカスプ磁場によって閉じ込めるため、前記放電容器外壁に壁面に垂直な方向に着磁され、かつ互いに平行に隣り合う磁極が異なるように配置される第1の磁石列、及び放電プラズマからイオンを引き出して加速するためビーム引き出し孔が穿孔された電極を有するイオン源において、放電容器の内部に、イオンが前記放電容器外部に引き出される方向に平行な面内において放電容器を複数の放電領域に分割する第2の磁石列が配設され,この第2の磁石列の各磁石は、対向する前記放電容器壁面に配設された前記第1の磁石列と平行に、且つ相隣り合う磁石の極性がそれぞれ異なるように配設されるとともに、該第2の磁石列の一方の磁極が前記第1の磁石列と閉じた磁気カスプ線を形成するよう配設され、他方の磁極が他方の放電領域に配設された第1の磁石列と閉じた磁気カスプ線を形成するように配設されることを特徴とするイオン源。

IPC (6)：

G21B 1/00 ,  G21K 5/04 ,  H01J 27/14 ,  H01J 37/08 ,  H05H 3/00 ,  H05H 1/24

FI (6)：

G21B 1/00 U ,  G21K 5/04 A ,  H01J 27/14 ,  H01J 37/08 ,  H05H 3/00 ,  H05H 1/24

F-Term (8)：

2G085AA20 ,  2G085BA02 ,  2G085BE02 ,  2G085BE10 ,  2G085EA09 ,  5C030DD06 ,  5C030DG01 ,  5C030DG06