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J-GLOBAL ID：200903002033086952

走査型プローブ顕微鏡

Inventor： 原田 満雄
Applicant, Patent owner： オリンパス光学工業株式会社
Agent (1)： 鈴江 武彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994271082
Publication number (International publication number)：1996136553
Application date： Nov. 04, 1994
Publication date： May. 31, 1996
Summary：

【要約】【目的】探針と試料との間の相対的な位置変動の少ない走査型プローブ顕微鏡を提供する。【構成】ステージ基台を支持する三本の送りねじ40の各々の上端には円形の凹部42が形成されており、その中に三つの小球50が収容されている。小球50はいずれも凹部42の底面46と周壁44に接していて、それぞれ正三角形の頂点の位置にあり、これらの三つの小球50の上にボール48が乗っている。つまり、ボール48は三つの小球50と接する三点で支持されている。送りねじ40の上端には樹脂製のボール抑え52が設けられている。このボール抑え52はボール48の脱落を防止するためだけに設けられたものであり、送りねじ40が上を向いている状態ではボール48の回転をいっさい妨げない。

Claim (excerpt)：

基台と、基台に設けられた回転により上下に移動し得る三本の送りねじと、三本の送りねじに支持されるユニットと、三本の送りねじを同時に回転させる手段とを備え、さらに送りねじは滑らかに回転するボールを先端部に備えている、走査型プローブ顕微鏡。

IPC (3)：

G01N 37/00 ,  G01B 21/30 ,  H01J 37/28