ポジ型感放射線性樹脂組成物

Inventor： , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：福沢俊明
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000151175
Publication number (International publication number)：2001330959
Application date： May. 23, 2000
Publication date： Nov. 30, 2001
Summary：

【要約】【課題】放射線に対する透明性が高く、しかも解像度、感度、パターン形状等に優れるとともに、微細加工時の現像欠陥を生じることがなく、半導体素子を高い歩留りで製造しうるポジ型感放射線性樹脂組成物を提供する。【解決手段】ポジ型感放射線性樹脂組成物は、(A)下記式(1)で表される構造および/または下記式(2)で表される構造を有するアルカリ不溶性またはアルカリ難溶性の酸解離性基含有樹脂であって、該酸解離性基が解離したときアルカリ可溶性となる樹脂、並びに(B)感放射線性酸発生剤を含有する。【化1】〔式(1)において、R1 は水素原子、炭素数1〜5の直鎖状もしくは分岐状のアルキル基または炭素数1〜5の直鎖状もしくは分岐状のアルコキシル基を示す。〕【化2】〔式(2)において、Zは炭素数4〜20の3価の脂環式炭化水素基またはその置換誘導体を示し、Xは単結合または炭素数1〜5の2価の有機基を示す。〕

Claim (excerpt)：

(A)下記式(1)で表される構造および/または下記式(2)で表される構造を有するアルカリ不溶性またはアルカリ難溶性の酸解離性基含有樹脂であって、該酸解離性基が解離したときアルカリ可溶性となる樹脂、並びに(B)感放射線性酸発生剤を含有することを特徴とするポジ型感放射線性樹脂組成物。【化1】〔式(1)において、R1 は水素原子、炭素数1〜5の直鎖状もしくは分岐状のアルキル基または炭素数1〜5の直鎖状もしくは分岐状のアルコキシル基を示す。〕【化2】〔式(2)において、Zは炭素数4〜20の3価の脂環式炭化水素基またはその置換誘導体を示し、Xは単結合または炭素数1〜5の2価の有機基を示す。〕

IPC (9)：

G03F 7/039 601 , C08F 8/12 , C08F 20/30 , C08F 32/00 , C08K 5/00 , C08L 33/14 , C08L 45/00 , C08L101/08 , H01L 21/027

FI (9)：

G03F 7/039 601 , C08F 8/12 , C08F 20/30 , C08F 32/00 , C08K 5/00 , C08L 33/14 , C08L 45/00 , C08L101/08 , H01L 21/30 502 R

F-Term (40)：

2H025AA01 , 2H025AA02 , 2H025AA03 , 2H025AB16 , 2H025AC04 , 2H025AC08 , 2H025AD03 , 2H025BE00 , 2H025BE07 , 2H025BE10 , 2H025BG00 , 2H025CB43 , 2H025CB45 , 2H025FA17 , 4J002BG071 , 4J002BK001 , 4J002EB106 , 4J002EQ016 , 4J002EU186 , 4J002EV216 , 4J002EV236 , 4J002GP03 , 4J100AL08P , 4J100AL08Q , 4J100AR09P , 4J100AR11P , 4J100BA03P , 4J100BA03Q , 4J100BA15P , 4J100BA16P , 4J100BA40Q , 4J100BC02P , 4J100BC08Q , 4J100BC09Q , 4J100BC53P , 4J100CA01 , 4J100CA04 , 4J100CA05 , 4J100HA08 , 4J100JA37

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