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J-GLOBAL ID：200903002061767221

有機質・無機質複合導波路及びその製造方法

Inventor： 井本 克之
Applicant, Patent owner： 日立電線株式会社
Agent (1)： 絹谷 信雄
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001194992
Publication number (International publication number)：2003014961
Application date： Jun. 27, 2001
Publication date： Jan. 15, 2003
Summary：

【要約】【課題】 導波路を簡単に製作できる有機質・無機質複合導波路及びその製造方法を提供する。【解決手段】 基板10,20上に、ポリシラン化合物からなる溶液を塗布し(S1)、その溶液をベークして(S2)ポリマ膜を形成し、そのポリマ膜12,22の表面或いは内部にパルス幅が1000fs以下の超短パルスレーザビームを集光し、照射させながらポリマ膜12,22の位置を変位させて高屈折率に変化した光伝搬層13,23のパターンを、ポリマ膜表面或いは内部に形成(S3)したものである。

Claim (excerpt)：

ポリシラン化合物からなるポリマ膜の表面或いは内部にパルス幅が1000fs以下の超短パルスレーザビームを集光して高屈折率に変化させた光伝搬層のパターンを、ポリマ膜表面或いは内部に形成したことを特徴とする有機質・無機質複合導波路。

IPC (2)：

G02B 6/12 ,  G02B 6/13

FI (2)：

G02B 6/12 N ,  G02B 6/12 M

F-Term (13)：

2H047KA03 ,  2H047PA02 ,  2H047PA05 ,  2H047PA12 ,  2H047PA15 ,  2H047PA24 ,  2H047PA28 ,  2H047QA04 ,  2H047QA05 ,  2H047RA08 ,  2H047TA05 ,  2H047TA31 ,  2H047TA41