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J-GLOBAL ID：200903002064562868

フラーレン評価方法

Inventor： 西馬 聡 ,  橋本 浩行
Applicant, Patent owner： キヤノン株式会社
Agent (1)： 山下 穣平
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999047175
Publication number (International publication number)：2000241369
Application date： Feb. 24, 1999
Publication date： Sep. 08, 2000
Summary：

【要約】【課題】 フラーレン並びにその化合物(Fullerenes)を評価する方法において、被分析試料の限定された分析領域に電子線を照射し、反射した電子エネルギー損失スペクトル(以下、REELSと略記)を利用し、領域内のフラーレンの特性の評価方法を提供することを課題とする。【解決手段】 フラーレン並びにその化合物(Fullerenes)の特性を評価するフラーレン評価方法において、被分析試料を測定用に特別な加工をすることなく用い、被分析試料の限定された分析領域に一定のエネルギー幅をもった電子線を照射し、被分析試料の表面で反射した電子を一定のエネルギー分解能を持った分析器で計測し、得られたスペクトルで観測される微細構造を利用して領域内のフラーレンを評価することを特徴とする。また、前記分析領域が試料の表面から10nm以内の深さ、かつ1μm四方以内の領域であることを特徴とする。

Claim (excerpt)：

フラーレン並びにその化合物(Fullerenes)の特性を評価するフラーレン評価方法において、被分析試料の限定された分析領域に一定のエネルギー幅をもった電子線を照射し、前記被分析試料の表面で反射した電子を一定のエネルギー分解能を持った分析器で計測し、得られたスペクトルで観測される微細構造を利用して前記分析領域内のフラーレンを評価することを特徴とするフラーレン評価方法。

IPC (2)：

G01N 23/20 ,  C01B 31/02 101

FI (2)：

G01N 23/20 ,  C01B 31/02 101 F

F-Term (14)：

2G001AA03 ,  2G001BA09 ,  2G001BA14 ,  2G001BA15 ,  2G001EA03 ,  2G001FA17 ,  2G001FA19 ,  2G001GA04 ,  2G001JA02 ,  2G001JA03 ,  2G001JA14 ,  2G001KA01 ,  2G001KA20 ,  4G046CC10