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J-GLOBAL ID：200903002091172109

防塵性硬質炭素被膜

Inventor： 長田 誠一
Applicant, Patent owner： 大同特殊鋼株式会社
Agent (1)： 上野 登
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997316036
Publication number (International publication number)：1999130590
Application date： Oct. 30, 1997
Publication date： May. 18, 1999
Summary：

【要約】【課題】 基材表面に形成した硬質炭素被膜上における静電気発生を防止することにより、相手材の過度の摩耗を抑制すると共に、硬質炭素被膜表面へのゴミの付着に起因する硬質炭素被膜自身の異常摩耗を抑制すること。【解決手段】 基材表面に直接又は中間層を介して所定の硬度を有する硬質炭素被膜を形成すると共に、その表面にさらに、比抵抗が1x107Ωcm 以下、好ましくは1x104Ωcm 以下である導電性被膜、特に、水素を27atm%以下及び/又は窒素等の第三元素を25atm%以下含有する導電性硬質炭素被膜を形成するようにした。

Claim (excerpt)：

基材表面に直接又は中間層を介して形成した硬質炭素被膜と、該硬質炭素被膜の表面に形成した1x107Ωcm 以下の比抵抗を有する導電性被膜からなることを特徴とする防塵性硬質炭素被膜。

IPC (5)：

C30B 29/04 ,  B32B 7/02 104 ,  B32B 9/00 ,  C23C 14/06 ,  C23C 16/26

FI (5)：

C30B 29/04 W ,  B32B 7/02 104 ,  B32B 9/00 A ,  C23C 14/06 F ,  C23C 16/26