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J-GLOBAL ID：200903002155630050
梁構造体
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
鈴江 武彦 (外4名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996207092
Publication number (International publication number)：1998048226
Application date： Aug. 06, 1996
Publication date： Feb. 20, 1998
Summary：
【要約】【課題】反射率と遮光率が共に高く、反りが少なく、経時変化も少ない柔軟な梁を有する小型の梁構造体を提供する。【解決手段】梁構造体は、中央に開口部を有する支持部102と、支持部102から開口部内に延びる片持ち梁104を有している。片持ち梁104は短冊形状をしており、長さは100μm、幅は40μmである。片持ち梁104は、基材である厚さ20μmの窒化シリコン膜112と、窒化シリコン膜112の上に設けられた厚さ20nmのアルミニウムコート膜114と、アルミニウムコート膜114の上に設けられた厚さ30nmの金コート膜116とで構成されている。これらの膜112と114と116は、シリコン製の台座110の上に形成されており、台座110は片持ち梁104の下側周辺部が堀り込まれ、開口部106となっている。
Claim (excerpt)：
弾性変形する梁と、梁を支持する支持部と、梁の片面に設けられた複数の金属コート膜とを有する梁構造体であり、複数の金属コート膜は、梁に接して設けられた第一の金属コート膜と、第一の金属コート膜の上に設けられた第二の金属コート膜とを含み、第一の金属コート膜は第二の金属コート膜よりも遮光性が高く、第二の金属コート膜は第一の金属コート膜よりも変質し難い、梁構造体。
IPC (2)：
FI (2)：
G01N 37/00 G
, G01B 21/30 Z
