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J-GLOBAL ID：200903002157707882
高さ精度判定装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
大胡 典夫
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993154029
Publication number (International publication number)：1995012521
Application date： Jun. 25, 1993
Publication date： Jan. 17, 1995
Summary：
【要約】【目的】 基準面から測定部までの高さ精度の良・不良判定を簡単にかつ高精度に行なう。【構成】 判定部44は基準スリット部71a を通過した光量に基づくギャップセンサー54の出力信号と、Goゲージ22とスイングアーム11の測定部11b の隙間を通過した光量に基づくギャップセンサー54の出力信号とを比較し、スイングアーム11の良・不良を判定する。投光器52から照射されるレーザー光51の強度が時間変化してドリフトした場合でも、基準スリット部71a の基準値を測定することでドリフトの影響を最小限に抑えることができ、安定した測定を行なうことが可能となる。また、揺動モータ59を回転してギャップセンサー54を揺動することによって、揺動方向における多点測定が可能となる。
Claim (excerpt)：
測定基準面に測定物を載置し上記測定基準面に対する上記測定物の測定面までの寸法精度を測定し、測定値が予め設定された指定公差内か否かを判定する高さ精度判定装置において、上記測定物の測定面との間に隙間が形成されるように上記測定基準面から指定公差の最小値を有して上記測定基準面に設定された測定器具と、予め設定された指定公差値幅を有する基準スリットと上記測定器具と上記測定面により形成される隙間を測定するための測定用スリットが形成された遮光板と、測定用の光束を照射する投光器と照射された光束を受光する受光器とを有しこれら投光器と受光器の光路間に位置する上記遮光板に形成された上記基準スリットを通過する光束の量と上記測定用スリットを介して上記測定器具と上記測定面とにより形成される隙間を通過する光束の量にそれぞれ対応する信号を出力するギャップセンサーと、このギャップセンサーを保持する保持手段と、この保持手段を移動して上記投光器からの光束が上記基準スリット部に照射される第1の位置と上記測定用スリットに照射される第2の位置に上記ギャップセンサーを移動する移動手段と、この移動手段により移動した上記ギャップセンサーの上記投光器から照射される光束による上記第1の位置における上記ギャップセンサーの出力信号と上記第2の位置における上記ギャップセンサーの出力信号を比較し上記測定物の良・不良を判定する判定手段とを具備したことを特徴とする高さ精度判定装置。
IPC (2)：
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