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J-GLOBAL ID：200903002166244992
感放射線性組成物
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
大島 正孝
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992209404
Publication number (International publication number)：1993249683
Application date： Jul. 15, 1992
Publication date： Sep. 28, 1993
Summary：
【要約】【構成】 酸分解性シリル基を有するポリマー、感放射線性酸形成剤および弱塩基性含チッ素化合物を含有することを特徴とする感放射線性組成物。【効果】 現像液による膨潤がなく、現像性、パターン形状、接着性、リソグラフィープロセス安定性、耐熱性などに優れ、高解像度で高感度であり、かつエキシマレーザーなどの遠紫外線、シンクロトロン放射線などのX線、電子線などの荷電粒子といった様々な放射線源に対応できるレジスト組成物として好適な感放射線性組成物を提供することができる。
Claim (excerpt)：
酸分解性シリル基を有するポリマー、感放射線性酸形成剤および弱塩基性含チッ素化合物を含有することを特徴とする感放射線性組成物。
IPC (3)：
G03F 7/039 501
, G03F 7/004 503
, H01L 21/027
Cited by examiner (9)
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