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J-GLOBAL ID：200903002166820039
逆反射スクリーンによる表面検査装置及び該装置を用いた表面検査方法
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
本庄 武男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993172949
Publication number (International publication number)：1995027717
Application date： Jul. 13, 1993
Publication date： Jan. 31, 1995
Summary：
【要約】【目的】 搬送路上を搬送される検査対象物の表面検査を実施する場合に,光源とカメラの配設数を最小限に抑えて表面検査を実施する。【構成】 光源4,カメラ3及び逆反射スクリーン2が検査対象物5を搬送する搬送路6の搬送方向に,光反射を利用した逆反射スクリーンによる表面検査を行う入反射条件が成立するように配設される。検査対象物5は検査装置1の入反射光軸方向に搬送されるので,検査対象物5の検査表面が所定の検査位置に移動してきたとき表面検査が実行される。検査表面が大きな面積で,検査装置の有効検査範囲を越えるような場合にも,上記有効検査範囲を越える長手方向を搬送方向にして搬送すると,検査対象物の搬送移動により検査表面を有効検査範囲で分割して順次検査することができる。検査対象物5に折曲面が形成されている場合には,それぞれの面に対応する光源4とカメラ3とが配置される。
Claim (excerpt)：
搬送路上に載置されて所定の検査位置に移動してきた検査対象物を光源からの光で照射し,該検査対象物表面で反射した光を所定の反射指向性を有する逆反射スクリーンで検査対象物に戻し,検査対象物の表面で再反射した光を光源の近傍に配置したカメラで捕らえることにより,検査対象物表面の欠陥部分の凹凸変化を明暗変化で強調された画像として検出する逆反射スクリーンによる表面検査装置において,上記光源,上記カメラ及び上記逆反射スクリーンを上記搬送路の搬送方向に上記光の入反射条件が成立するように配置したことを特徴とする逆反射スクリーンによる表面検査装置。
IPC (2)：
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