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J-GLOBAL ID:200903002202160709
フーリエ変換縞解析方法および装置
Inventor:
,
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
川野 宏
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2001097156
Publication number (International publication number):2002296003
Application date: Mar. 29, 2001
Publication date: Oct. 09, 2002
Summary:
【要約】【目的】 正負が未知の既存キャリア周波数に対応したスペクトルと、正負が既知の追加キャリア周波数を追加重畳せしめた際のスペクトルとを比較して、既存キャリア周波数の正負を判別することにより、位相の正負判別作業を一意的に安定して行なえるようにして、安定した解析結果を得られるようにする。【構成】 既存空間キャリア周波数が重畳された元の干渉縞画像をCCD撮像カメラにより得(T1)、その縞画像データに対してフーリエ変換を施して(T2)、周波数座標系において、既存空間キャリア周波数に対応した第1スペクトルの座標を得る(T3)。次に、元の干渉縞画像に追加キャリア周波数を追加重畳せしめて(T4)、その比較用干渉縞画像をCCD撮像カメラにより得(T5)、その比較用干渉縞画像データに対してフーリエ変換を施して(T6)、周波数座標系において、第2スペクトルの座標を得る(T7)。両スペクトルの座標を比較することにより、既存キャリア周波数の正負を判別して(T8)、位相の正負を判別する。
Claim (excerpt):
被観察体の波面情報を担持した、キャリア周波数が重畳された縞画像データにフーリエ変換を施して、周波数座標系において前記キャリア周波数に対応したスペクトルを求め、該スペクトルを解析用データとして用いて演算を行ない、その演算結果に基づいて前記波面情報を求めるフーリエ変換縞解析方法において、正負が未知の既存キャリア周波数が重畳された元の縞画像データにフーリエ変換を施して求めた第1スペクトルと、前記既存キャリア周波数に加えて正負が既知の追加キャリア周波数を重畳せしめた比較用縞画像データにフーリエ変換を施して求めた第2スペクトルとを比較することにより、前記既存キャリア周波数の正負を判別し、この判別結果に基づき前記波面情報の位相の正負を決定することを特徴とするフーリエ変換縞解析方法。
F-Term (8):
2F064CC04
, 2F064EE01
, 2F064GG12
, 2F064GG22
, 2F064GG70
, 2F064HH03
, 2F064JJ01
, 2F064JJ15
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (3)
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シアリング干渉計測方法及びシアリング干渉計
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平5-332832
Applicant:富士ゼロックス株式会社
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特開昭61-230002
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特開昭60-224044
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