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J-GLOBAL ID：200903002204846594

プローブ位置制御装置および走査型近接場顕微鏡

Inventor： 石川 幸
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996010799
Publication number (International publication number)：1997203739
Application date： Jan. 25, 1996
Publication date： Aug. 05, 1997
Summary：

【要約】【課題】 圧電駆動素子のヒステリシスによる影響を排除し、正確な画像が得られる走査型近接場顕微鏡を提供することとする。【解決手段】 光源から発せられる光の波長よりも小さい開口径を有したプローブ6と、試料を載置する試料台1と、プローブ6と試料台1とを相対的に移動させる走査手段4、5と、プローブ1から発する光電場によって発せられる試料からの光を受光する受光手段10と、受光手段10から得られる信号により試料からの光の位置を算出する位置検出手段11と、位置検出手段11から得られる光の位置情報に基づくプローブの位置情報と走査手段4、5に入力されているプローブの位置情報とを対比し、光の位置情報に基づくプローブの位置情報と走査手段4、5に入力されているプローブの位置情報との差異が無くなるように前記走査手段4、5を補正制御する補正手段12とを備えた。

Claim (excerpt)：

光源から発せられる光の波長よりも小さい開口径を有したプローブと、試料を載置する試料台と、前記プローブと前記試料台とを相対的に移動させる走査手段と、前記プローブから発する光電場によって発せられる前記試料からの光を受光する受光手段と、前記受光手段から得られる信号により前記試料からの光の位置を算出する位置検出手段と、前記位置検出手段から得られる光の位置情報に基づくプローブの位置情報と前記走査手段に入力されているプローブの位置情報とを対比し、前記光の位置情報に基づくプローブの位置情報と前記プローブの位置情報との差異が無くなるように前記走査手段を補正制御する補正手段とを備えたことを特徴とするプローブ位置制御装置

IPC (2)：

G01N 37/00 ,  G01B 11/30 101

FI (2)：

G01N 37/00 D ,  G01B 11/30 101 A