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J-GLOBAL ID：200903002213315240

ステージ装置及び露光装置

Inventor： 井上 次郎
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Agent (1)： 立石 篤司
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001356904
Publication number (International publication number)：2002231622
Application date： Nov. 22, 2001
Publication date： Aug. 16, 2002
Summary：

【要約】【課題】 基板ステージの小型化及び装置フットプリントの縮減を図る。【解決手段】 基板ステージ(WST1,WST2)上において、基板ホルダ(H1,H2)との位置関係が一定となるように、使用される計測シーケンス毎に複数の基準マークが分散して配置された複数の基準マーク板(FMa〜FMd,FMa’〜FMd’)が、基板ホルダの周辺に設けられている。このため、基板ステージ上の僅かなスペースに基準マーク板を設けることができる。また、制御装置により、マーク検出系を用いて各基準マークの位置情報を検出する検出動作を含む各種計測シーケンスが実行される。従って、計測機能を維持したまま、基板ステージの小型化、ひいては装置のフットプリントの縮減を図ることが可能となる。

Claim (excerpt)：

基板を保持する基板保持部材と;前記基板保持部材を載置して2次元移動するとともに、前記基板保持部材との位置関係が一定となるように複数の基準マークがそれらが使用される計測シーケンス毎に分散して配置された基板ステージと;を備えるステージ装置。

IPC (3)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/22 ,  H01L 21/68

FI (3)：

G03F 7/22 H ,  H01L 21/68 F ,  H01L 21/30 515 G

F-Term (29)：

5F031CA02 ,  5F031CA05 ,  5F031CA07 ,  5F031HA13 ,  5F031HA16 ,  5F031HA53 ,  5F031HA57 ,  5F031JA04 ,  5F031JA06 ,  5F031JA14 ,  5F031JA17 ,  5F031JA22 ,  5F031JA28 ,  5F031JA29 ,  5F031JA32 ,  5F031JA38 ,  5F031KA06 ,  5F031KA07 ,  5F031KA08 ,  5F031LA03 ,  5F031LA08 ,  5F031MA27 ,  5F031NA02 ,  5F046BA04 ,  5F046BA05 ,  5F046CC01 ,  5F046CC16 ,  5F046CC19 ,  5F046EB03