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J-GLOBAL ID：200903002227322614

基板処理装置

Inventor：
光吉 一郎

About 光吉 一郎


Applicant, Patent owner：
大日本スクリーン製造株式会社

About 大日本スクリーン製造株式会社


Agent (2)： 吉竹 英俊 ,  有田 貴弘
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2007250855
Publication number (International publication number)：2009081362
Application date： Sep. 27, 2007
Publication date： Apr. 16, 2009
Summary：
【課題】基板搬送に要する時間を短くすることができる基板処理装置を提供する。【解決手段】FOUP搬送ロボット20は、複数枚の基板が収納されたFOUP80をロードポート10とFOUP載置台30との間で搬送する。インデクサロボット40は、FOUP載置台30に載置されたFOUP80に収納された基板W(未処理基板)を基板受渡部50を介して洗浄処理部60に渡すとともに、洗浄処理部60でスクラブ洗浄処理された基板W(処理済み基板)を基板受渡部50を介して受け取ってFOUP80に収納する。FOUP載置台30は、インデクサロボット40の周囲に複数個設けられる。したがって、インデクサロボット40は基板Wを搬送するにあたって水平方向に沿って移動する必要がない。これによって基板搬送に要する時間を短くすることができる。【選択図】図1
Claim (excerpt)：
複数枚の基板を収納する収納器に収納された基板を1枚ずつ処理する枚葉式の基板処理装置であって、 装置外部との間で前記収納器を受け渡しするために前記収納器を載置する複数の第1載置部と、 所定の位置に固設され、前記収納器から基板を取り出すとともに、前記収納器に基板を格納する基板移載手段と、 前記基板移載手段の鉛直方向に沿った旋回軸を中心とする円周上に配置された複数の第2載置部と、 前記複数の第1載置部のいずれかに載置された前記収納器を、前記複数の第2載置部のいずれかまで搬送する収納器搬送手段と、 を備え、 前記基板移載手段は、水平方向に沿って移動することなく、前記複数の第2載置部のいずれかに載置された前記収納器から基板を取り出して所定の基板受渡位置に移載するとともに前記基板受渡位置から受け取った基板を前記収納器に格納することを特徴とする基板処理装置。
IPC (3)：
H01L 21/304 ,  G02F 1/13 ,  G11B 7/26
FI (4)：
H01L21/304 648A ,  H01L21/304 648J ,  G02F1/13 101 ,  G11B7/26 501
F-Term (21)：
2H088FA17 ,  2H088FA24 ,  2H088FA30 ,  5D121BA01 ,  5D121BB31 ,  5D121BB38 ,  5D121GG28 ,  5D121JJ03 ,  5D121JJ07 ,  5D121JJ08 ,  5D121JJ09 ,  5F157AA02 ,  5F157AA03 ,  5F157AB33 ,  5F157AB45 ,  5F157AB47 ,  5F157BA02 ,  5F157BA14 ,  5F157BA31 ,  5F157CF76 ,  5F157DB46
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (1)
  • 基板処理装置
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願2003-324207   Applicant：大日本スクリーン製造株式会社
Cited by examiner (2)

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