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J-GLOBAL ID：200903002228755824

有機金属化合物供給容器

Inventor： 安部 寿充 ,  讃良 憲一
Applicant, Patent owner： 住友化学株式会社
Agent (1)： 中山 亨
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2007225595
Publication number (International publication number)：2009059871
Application date： Aug. 31, 2007
Publication date： Mar. 19, 2009
Summary：

【課題】一定の再現性ある有機金属化合物の蒸発量が得られ、キャリアガス流量を多くして有機金属化合物の気化量を多くした場合に、充填した有機金属化合物の使用率の低下を少なくできる有機金属化合物供給容器を提供する。【解決手段】容器上部にキャリアガス導入管の先端部、底部にキャリアガス導出管の先端部を配設し、かつ該容器内に有機金属化合物に対して不活性な担体に常温で固体の有機金属化合物を被覆した担体担持有機金属化合物を充填してなる有機金属化合物供給容器において、キャリアガス導入管の先端部より供給されるキャリアガスが、容器を垂直に設置した場合、その中心軸に対し略垂直方向に噴出するように、キャリアガス導入管の先端部を構成していることを特徴とする。【選択図】 図1

Claim (excerpt)：

容器上部にキャリアガス導入管の先端部、容器底部にキャリアガス導出管の先端部を配設し、かつ該容器内に有機金属化合物に対して不活性な担体に常温で固体の有機金属化合物を被覆した担体担持有機金属化合物を充填してなる有機金属化合物供給容器において、キャリアガス導入管の先端部より供給されるキャリアガスが、容器を垂直に設置した場合、その中心軸に対し略垂直方向に噴出するように、キャリアガス導入管の先端部を構成してなる有機金属化合物供給容器。

IPC (2)：

H01L 21/205 ,  C23C 16/448

FI (2)：

H01L21/205 ,  C23C16/448

F-Term (10)：

4K030AA11 ,  4K030BA11 ,  4K030CA04 ,  4K030EA01 ,  4K030FA10 ,  4K030KA45 ,  4K030KA46 ,  4K030LA14 ,  5F045AA04 ,  5F045EE02

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (4)

• 特開平1-265511公報
  
• 有機金属化合物供給容器
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2005-236411   Applicant：住友化学株式会社
• 特開平1-265511
  
• 特開平3-131018