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J-GLOBAL ID:200903002236025223
プラズマガンの中間電極ユニット及びそれを備えるプラズマガン
Inventor:
,
,
,
Applicant, Patent owner:
Agent (2):
角田 嘉宏
, 古川 安航
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2006245760
Publication number (International publication number):2008066241
Application date: Sep. 11, 2006
Publication date: Mar. 21, 2008
Summary:
【課題】中間電極の冷却効率が高いことを維持した上で、容易に組み立てることができるプラズマガンの中間電極ユニットを提供することを目的とする。【解決手段】鍔部32と鍔部32の主面に突設された胴部43とを有するハウジング8と、胴部43の内孔に嵌挿された電極部材47と、胴部43に嵌入された磁石49と、磁石49を胴部43に止める止め部材50と、胴部43の先端に配置された絶縁部材51と、鍔部64と鍔部64の主面に突設された胴部58とを有するハウジング9と、胴部58の内孔に嵌挿された電極部材71と、胴部58に嵌入された磁石72と、磁石72を胴部58に止める止め部材59と、締結具76と、を備え、胴部58の先端が胴部43の先端との間に絶縁部材51を挟むように配置され、鍔部32と鍔部64とが締結具76によって相互に締結されている、中間電極ユニット。【選択図】図1
Claim 1:
プラズマが流出する第1開口を有する板状の第1鍔部と該第1鍔部の一方の主面に前記第1開口を囲むように突設された筒状の第1胴部とを有する導電性の第1ハウジングと、
前記第1ハウジングの第1胴部の内孔に嵌挿された筒状の第1電極部材と、
前記第1ハウジングの第1胴部に嵌入された環状の第1磁石と、
前記第1磁石を前記第1ハウジングの第1胴部から抜けないよう止める第1止め部材と、
前記第1ハウジングの第1胴部の先端に前記第1開口と同軸状に配置された環状の絶縁部材と、
プラズマが流入する第2開口を有する板状の第2鍔部と該第2鍔部の一方の主面に前記第2開口を囲むように突設された筒状の第2胴部とを有する導電性の第2ハウジングと、
前記第2ハウジングの第2胴部の内孔に嵌挿された筒状の第2電極部材と、
前記第2ハウジングの第2胴部に嵌入された環状の第2磁石と、
前記第2磁石を前記第2ハウジングの第2胴部から抜けないよう止める第2止め部材と、
締結具と、を備え、
前記第2ハウジングが、その前記第2鍔部の一方の主面が前記第1ハウジングの第1鍔部の一方の主面と対向し、その前記第2開口が前記第1ハウジングの第1開口と同軸状に位置し、かつ、その前記第2胴部の先端が前記第1ハウジングの第1胴部の先端との間に前記絶縁部材を挟むように配置され、
前記第1ハウジングの第1鍔部と前記第2ハウジングの第2鍔部とが前記締結具によって相互に締結されている、中間電極ユニット。
IPC (3):
H05H 1/24
, H01J 37/32
, C23C 16/50
FI (3):
H05H1/24
, H01J37/32
, C23C16/50
F-Term (2):
Patent cited by the Patent:
Cited by applicant (6)
-
特許第2921874号
-
圧力勾配型プラズマ発生装置の中間電極構造
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2001-071320
Applicant:スタンレー電気株式会社
-
金属薄膜の製造方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平4-281917
Applicant:株式会社ニコン
-
減圧用インダクションプラズマトーチ
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平4-093681
Applicant:株式会社三社電機製作所
-
放電型プラズマ成膜装置とその方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2001-376591
Applicant:理化学研究所
-
真空成膜装置のプラズマ源
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平10-124516
Applicant:住友重機械工業株式会社
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Cited by examiner (5)
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Applicant:株式会社ニコン
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