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J-GLOBAL ID：200903002256867662

ガス処理用装置およびカートリッジ

Inventor： 岡澤 昌毅 ,  西口 敏司
Applicant, Patent owner： キヤノン株式会社
Agent (2)： 西山 恵三 ,  内尾 裕一
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003434538
Publication number (International publication number)：2005186041
Application date： Dec. 26, 2003
Publication date： Jul. 14, 2005
Summary：

【課題】 プラズマ放電によるガス処理が効率的に行えるガス処理用装置およびガス処理用装置に搭載するカートリッジを提供する。【解決手段】 放電電極表面に凸形状を設ける。【選択図】 図1

Claim (excerpt)：

一対の電極と、前記一対の電極間に配置される多孔質の誘電体とを有し、前記一対の電極間にプラズマ放電を発生させることでプラズマ空間を通過する処理対象ガスを処理するガス処理用装置において、前記一対の電極のうちの高電圧印加側の電極は表面に凸形状を有する棒状の放電電極であることを特徴とするガス処理用装置。

IPC (7)：

B01D53/56 ,  B01D53/38 ,  B01D53/46 ,  B01D53/58 ,  B01D53/74 ,  B01J19/08 ,  H05H1/24

FI (6)：

B01D53/34 129C ,  B01J19/08 E ,  H05H1/24 ,  B01D53/34 131 ,  B01D53/34 116Z ,  B01D53/34 121Z

F-Term (13)：

4D002AA01 ,  4D002AA12 ,  4D002AA13 ,  4D002AC04 ,  4D002AC10 ,  4D002BA07 ,  4G075AA03 ,  4G075AA37 ,  4G075BA05 ,  4G075CA47 ,  4G075EC21 ,  4G075FA05 ,  4G075FC15

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (2)

• プラズマ化学反応装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平6-180282   Applicant：株式会社東芝
• 有害ガス処理装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平8-110762   Applicant：三菱重工業株式会社