Pat

J-GLOBAL ID：200903002262236550

高強度圧電セラミックス及びその製造方法

Inventor： 田島 健一 ,  岩下 修三 ,  中井 泰広
Applicant, Patent owner： 京セラ株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997078667
Publication number (International publication number)：1998279350
Application date： Mar. 31, 1997
Publication date： Oct. 20, 1998
Summary：

【要約】【課題】電気機械結合係数などの圧電特性の大きな劣化なく、高強度特性を有する圧電セラミックスとその及びその製造方法を提供する。【解決手段】平均粒径が3μm以下の圧電性セラミック粉末に対して、平均粒径が1μm以下のAl2 O3 、MgO、ZrO2 、HfO2 、Y2 O3 およびTiO2 の群から選ばれる少なくとも1種の金属酸化物粉末を0.01〜5体積%の割合で添加し、これを成形後、該成形体にマイクロ波を照射し、900〜1300°Cの温度で加熱焼結して、平均粒径が3μm以下の圧電性セラミック結晶粒子と、平均粒径が1μm以下の前記金属酸化物を分散結晶粒子として含み、理論密度に対する相対密度が95%以上の焼結体を得る。

Claim (excerpt)：

平均粒径が3μm以下の圧電性セラミック結晶粒子と、平均粒径が1μm以下のAl2 O3 、MgO、ZrO2 、HfO2 、Y2 O3 およびTiO2 の群から選ばれる少なくとも1種の金属酸化物からなる分散結晶粒子を含み、理論密度に対する相対密度が95%以上であることを特徴とする高強度圧電セラミックス。

IPC (5)：

C04B 35/443 ,  C04B 35/49 ,  H01L 41/187 ,  H01L 41/24 ,  H02N 2/00

FI (5)：

C04B 35/44 101 ,  H02N 2/00 C ,  C04B 35/49 A ,  H01L 41/18 101 D ,  H01L 41/22 A