感光性樹脂組成物及びシルセスキオキサン重合体

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：青木宏義
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2006123170
Publication number (International publication number)：2007293159
Application date： Apr. 27, 2006
Publication date： Nov. 08, 2007
Summary：

【課題】成膜性が良好であり、感光性を有し、かつ成膜後に焼成することにより容易に耐熱性が高い膜が得られる感光性樹脂組成物を提供すること。【解決手段】かご状シルセスキオキサン構造が平均1箇所を超えて他のかご状シルセスキオキサン構造と結合してなるシルセスキオキサン重合体であって、該かご状シルセスキオキサン構造が平均1個以上の感光性付与基を含むシルセスキオキサン重合体と、感光剤と、を含むことを特徴とする感光性樹脂組成物。【選択図】なし

Claim (excerpt)：

かご状シルセスキオキサン構造が平均1箇所を超えて他のかご状シルセスキオキサン構造と結合してなるシルセスキオキサン重合体であって、該かご状シルセスキオキサン構造が平均1個以上の感光性付与基を含むシルセスキオキサン重合体と、感光剤と、を含むことを特徴とする感光性樹脂組成物。

IPC (4)：

G03F 7/075 , G03F 7/023 , C08G 77/04 , H01B 3/46

FI (4)：

G03F7/075 511 , G03F7/023 , C08G77/04 , H01B3/46 C

F-Term (46)：

2H025AA01 , 2H025AA10 , 2H025AB16 , 2H025AB17 , 2H025AC01 , 2H025AD01 , 2H025AD03 , 2H025BC50 , 2H025BC78 , 2H025BD55 , 2H025BE01 , 2H025BF30 , 2H025CB33 , 2H025FA17 , 2H025FA29 , 4J246AA03 , 4J246AB07 , 4J246BA01X , 4J246BA010 , 4J246BA12X , 4J246BA120 , 4J246BB02X , 4J246BB020 , 4J246CA030 , 4J246CA330 , 4J246CA34X , 4J246CA340 , 4J246CA650 , 4J246FA431 , 4J246GA01 , 4J246GA20 , 4J246GB11 , 4J246GC12 , 4J246GC26 , 4J246GC45 , 4J246GC53 , 4J246GD08 , 4J246HA15 , 4J246HA65 , 5G305AA07 , 5G305AB10 , 5G305AB36 , 5G305BA04 , 5G305CA26 , 5G305CB15 , 5G305CD12

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (3)

特許第2884073号公報
高分子化合物、レジスト材料及びパターン形成方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2004-014354 Applicant：信越化学工業株式会社
ポジ型レジスト組成物
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2003-057343 Applicant：富士写真フイルム株式会社

Cited by examiner (1)

パターナブル低誘電率材料およびULSI相互接続でのその使用
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2003-421691 Applicant：インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレーション

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