近接場光学顕微鏡のプローブチップ位置の測定方法とその装置および制御装置

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：工業技術院電子技術総合研究所長
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997199708
Publication number (International publication number)：1999044693
Application date： Jul. 25, 1997
Publication date： Feb. 16, 1999
Summary：

【要約】【課題】小型、高感度で、調整が簡単なプローブチップの振動振幅の測定系を本体と分離して設置可能にし、本体を極限環境下において使用できるようにする。【解決手段】所定波長の制御用レーザー光を光ファイバー3を用いてプローブチップ5に射出し、その散乱光と光ファイバーの端面3aからの反射光とを光ファイバー3を用いて戻し、その干渉を利用してプローブチップ5の振動振幅を測定する。この振動振幅によってプローブチップ5と試料9との距離を制御する。

Claim (excerpt)：

その先端から試料に観察用レーザー光を射出するためのプローブチップを所定の周期で振動させて、その振動の振幅によって前記プローブチップの先端と試料との距離を決める近接場光学顕微鏡のプローブチップ位置の測定方法であって、光ファイバーを用いて所定波長の制御用レーザー光を伝送し前記プローブチップに射出するとともに、前記光ファイバーの端面での反射光と前記プローブチップからの散乱光との間の干渉を利用して非接触で前記光ファイバーの端面からの前記プローブチップの位置を測定することを特徴とする近接場光学顕微鏡のプローブチップ位置の測定方法。

IPC (3)：

G01N 37/00 , G01B 11/00 , G01N 21/27

FI (3)：

G01N 37/00 D , G01B 11/00 G , G01N 21/27 E

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

走査型近接場顕微鏡
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平7-140804 Applicant：株式会社ニコン
顕微鏡
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-116339 Applicant：セイコー電子工業株式会社
特開平3-191805

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