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J-GLOBAL ID：200903002306742777

走査型露光装置および露光方法

Inventor： 川原 信途 ,  富田 孝史
Applicant, Patent owner： キヤノン株式会社
Agent (1)： 伊東 哲也 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998210305
Publication number (International publication number)：2000029223
Application date： Jul. 10, 1998
Publication date： Jan. 28, 2000
Summary：

【要約】【課題】 露光走査回数を増やすことなく周辺露光を可能にする。【解決手段】 スリット状または矩形状の光束を射出する照明光学系を備え、該スリット状または矩形状光束によりパターン領域と周辺露光領域を有する原板を介して感光基板を照明しながら該スリット状または矩形状光束下を該光束と相対的に該原板と感光基板を同期して走査して、該原板のパターン像を該感光基板上に転写する際、1回の露光走査における露光量を前記パターン領域と周辺露光領域とで異ならせる。

Claim (excerpt)：

スリット状または矩形状の光束を射出する照明光学系を備え、該スリット状または矩形状光束によりパターン領域と周辺露光領域を有する原板を介して感光基板を照明しながら該スリット状または矩形状光束下を該光束と相対的に該原板と感光基板を同期して走査して、該原板のパターン像を該感光基板上に転写する走査型露光装置において、1回の露光走査における露光量を前記パターン領域と周辺露光領域とで異ならせることを特徴とする走査型露光装置。

IPC (3)：

G03F 7/20 501 ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/027

FI (5)：

G03F 7/20 501 ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/30 516 D ,  H01L 21/30 518 ,  H01L 21/30 577

F-Term (14)：

2H097AA05 ,  2H097AB09 ,  2H097BB01 ,  2H097FA03 ,  2H097LA10 ,  2H097LA12 ,  5F046BA05 ,  5F046CB05 ,  5F046CB23 ,  5F046CC13 ,  5F046CC16 ,  5F046DA02 ,  5F046DA12 ,  5F046DA30