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J-GLOBAL ID:200903002311393896
磁気ディスク基板の研磨方法
Inventor:
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Applicant, Patent owner:
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Agent (1):
長谷川 曉司
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1997354776
Publication number (International publication number):1999185248
Application date: Dec. 24, 1997
Publication date: Jul. 09, 1999
Summary:
【要約】【課題】 特に平滑性が高く、かつ遊離砥粒の食い込みも少ない磁気ディスク基板を得るための研磨方法を提供する。【解決手段】 磁気ディスク基板を回転させながらテープを磁気ディスク基板の表面に押圧して研磨する磁気ディスク基板の研磨方法において、多結晶ダイヤモンドを含む研磨スラリーを用いると共に、研磨痕の交差角が1度以上15度以下となる条件で研磨する磁気ディスク基板の研磨方法。
Claim (excerpt):
磁気ディスク基板を回転させながらテープを磁気ディスク基板の表面に押圧して研磨する磁気ディスク基板の研磨方法において、多結晶ダイヤモンドを含む研磨スラリーを用いると共に、研磨痕の交差角が1度以上15度以下となる条件で研磨する磁気ディスク基板の研磨方法。
IPC (2):
FI (2):
G11B 5/84 A
, B24B 21/00 B
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