Pat

J-GLOBAL ID：200903002322137301

基板表面検査装置

Inventor： 藤森 啓一 ,  原 正勝
Applicant, Patent owner： 株式会社藤森技術研究所
Agent (1)： 笹島 富二雄 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997102022
Publication number (International publication number)：1998293088
Application date： Apr. 18, 1997
Publication date： Nov. 04, 1998
Summary：

【要約】【課題】ガラス基板1のおもて面及び裏面の検査を1つの検査ステージ5上で行う。【解決手段】基板のおもて面を検査して基板固定枠2を立てるときは、回動用のモータ及び移動用のモータ13を回転させる。回動用のモータの回転により、平歯車8aを介して基板固定枠2が立ち上がり、移動用のモータ13の回転によりボールネジ11が回転し、ボールナット12及びボールナット12に係合された基板固定枠3が移動する。そして、基板固定枠2を反対側に回動させることによりガラス基板1が裏面に反転する。

Claim (excerpt)：

基板のおもて面及び裏面を検査する基板表面検査装置において、前記基板の端部を担持して基板を固定する基板固定枠と、該基板固定枠を、載置した検査ステージ上で基板のおもて面及び裏面を反転させるように回動させる手段と、該基板固定枠を検査ステージのステージ面と略平行に移動させる移動手段と、を備えたことを特徴とする基板表面検査装置。

IPC (5)：

G01N 1/00 101 ,  G01B 11/30 ,  G01N 21/84 ,  G01N 21/88 ,  G02F 1/13 101

FI (5)：

G01N 1/00 101 A ,  G01B 11/30 C ,  G01N 21/84 C ,  G01N 21/88 D ,  G02F 1/13 101

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• 特開平4-301547
  
• マスク外観検査装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平6-273261   Applicant：宮崎沖電気株式会社, 沖電気工業株式会社