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J-GLOBAL ID：200903002323291355

光学部品の製造方法

Inventor： 是永 継博 ,  内田 真司 ,  黒川 英雄
Applicant, Patent owner： 松下電器産業株式会社
Agent (1)： 小鍜治 明 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992006272
Publication number (International publication number)：1993188204
Application date： Jan. 17, 1992
Publication date： Jul. 30, 1993
Summary：

【要約】【目的】 イオンによる洗浄が不可能な基板をレ-ザ-照射、もしくは基板と同一材料膜を成膜した後、イオンアシスト成膜、あるいはイオン化成膜を行うことで特性および耐久性に優れた光学部品を得る。【構成】 イオン、プラズマ衝撃にてダメ-ジを受ける基板21上に光学多層膜を成膜する際、基板を透過する波長をもつレ-ザ-光にて清浄化、もしくは基板と同一組成膜22を真空蒸着などのイオン、プラズマの影響のないプロセスにて成膜した後、目的の多層膜の第1層膜23を同じくイオン、プラズマの影響のないプロセスにて成膜し、第2層膜以降24をイオンアシスト成膜法、あるいはイオン化成膜法にて成膜する。

Claim (excerpt)：

イオン衝撃、あるいはプラズマ衝撃にて、光学特性が劣化する基材に多層膜を形成する方法において、前記基材にこれを透過する波長を有するレ-ザ-を照射した後、前記多層膜の第1層膜を真空蒸着法にて成膜し、第2層膜以降をイオン化成膜法、もしくはイオンアシスト成膜法にて成膜することを特徴とする光学部品の製造方法。