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J-GLOBAL ID：200903002331386187

圧電アクチュエータユニット、圧電素子、及び、その製造方法

Inventor：
張 俊華

About 張 俊華

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片倉 孝浩

About 片倉 孝浩

, 
奥村 資紀

About 奥村 資紀


Applicant, Patent owner：
セイコーエプソン株式会社

About セイコーエプソン株式会社


Agent (1)： 津久井 照保
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2007089289
Publication number (International publication number)：2007258727
Application date： Mar. 29, 2007
Publication date： Oct. 04, 2007
Summary：
【課題】液体の吐出特性を安定化する。【解決手段】互いに積層された上層圧電体34と下層圧電体35とを有し、これらの上層圧電体34と下層圧電体35の間には駆動電極33を形成し、上層圧電体34の表面には共通上電極36を形成し、下層圧電体35と振動板23の間には共通下電極37を形成した多層構造の圧電素子26を用い、下層圧電体35の長手方向両端部を圧力室両端よりも外側に延出させた状態で形成すると共に、上層圧電体34の長手方向両端部も圧力室両端よりも外側に延出させた状態で形成した。【選択図】図5
Claim (excerpt)：
圧力室となる空部を有する圧力室形成基板の表面に振動板を設け、圧力室形成基板とは反対側の振動板表面であって前記圧力室に対応する位置に圧電素子を形成してなる圧電アクチュエータユニットにおいて、 前記圧電素子は、互いに積層された上層圧電体と下層圧電体とを有し、これらの上層圧電体と下層圧電体の間には駆動電極を形成し、上層圧電体の表面には共通上電極を形成し、下層圧電体と振動板の間には共通下電極を形成した多層構造であり、 前記下層圧電体の長手方向両端部を圧力室両端よりも外側に延出させた状態で形成すると共に、上層圧電体の長手方向両端部も圧力室両端よりも外側に延出させた状態で形成したことを特徴とする圧電アクチュエータユニット。
IPC (7)：
H01L 41/09 ,  H01L 41/22 ,  H01L 41/187 ,  B41J 2/045 ,  B41J 2/055 ,  B41J 2/16 ,  F04B 43/04
FI (8)：
H01L41/08 J ,  H01L41/08 C ,  H01L41/08 U ,  H01L41/22 Z ,  H01L41/18 101D ,  B41J3/04 103A ,  B41J3/04 103H ,  F04B43/04 B
F-Term (14)：
2C057AF51 ,  2C057AF66 ,  2C057AF93 ,  2C057AG14 ,  2C057AG39 ,  2C057AG48 ,  2C057AP16 ,  2C057AP57 ,  2C057BA04 ,  2C057BA14 ,  3H077AA06 ,  3H077CC02 ,  3H077DD06 ,  3H077FF36
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (3)

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