Pat
J-GLOBAL ID：200903002333766084
透明部材の異物測定装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
功力 妙子
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992112114
Publication number (International publication number)：1993281129
Application date： Apr. 03, 1992
Publication date： Oct. 29, 1993
Summary：
【要約】 (修正有)【目的】 透明部材中に混入している異物を検出し,計測する異物測定装置を提供する。【構成】 Z軸方向に移動するための駆動機構を備えた光学顕微鏡,この光学顕微鏡の接眼レンズ部に接続されて試料の画像を撮影する撮像装置,この撮像装置からの画像信号をデジタル変換するA/D変換器7,このA/D変換器7からのデジタル画像情報を記憶するフレ-ムメモリ8,このフレ-ムメモリ8に記憶されている画像情報と新たに入力した画像情報とを比較演算して試料中に混入する異物を高輝度蓄積又は低輝度蓄積のいずれかにより蓄積する演算器9,画像処理して異物を計測する画像処理部6,並びに,Z軸方向の駆動機構を制御する機能,高輝度蓄積と低輝度蓄積を選択する機能,及びフレ-ムメモリへの書き込み,書き換えを指令する機能を有するコンピュ-タ11を備える。
Claim (excerpt)：
【請求項】 Z軸方向に移動させるための駆動機構を備えた試料を拡大観察する光学顕微鏡と,この光学顕微鏡の接眼レンズ部に接続されて画像を撮像する撮像装置と,この撮像装置からの画像信号をデジタル変換するA/D変換器と,このA/D変換器からのデジタルの画像情報を記憶するフレ-ムメモリと,このフレ-ムメモリに記憶されている前記画像情報と新たに入力した画像情報とを比較演算して前記試料中に混入した異物を高輝度蓄積あるいは低輝度蓄積のいずれかにより蓄積する演算器とを有し,前記フレ-ムメモリの画像情報を画像処理して前記異物を計測する画像処理部と,前記フレ-ムメモリに格納されている前記画像情報をアナログ変換するD/A変換器と,前記Z軸方向の駆動機構を制御する機能と高輝度蓄積と低輝度蓄積とを選択する機能と前記フレ-ムメモリへの書き込み,書き換えを指令する機能とを有するコンピュ-タと,を備え,前記画像情報を順次比較演算して前記異物を高輝度蓄積あるいは低輝度蓄積のいずれかにより前記フレ-ムメモリ上にZ軸方向の異物を蓄積するとともに,この異物を計測することを特徴とする透明部材の異物測定装置。
IPC (3)：
G01N 15/02
, G01N 21/88
, G06F 15/62 400
