Pat

J-GLOBAL ID：200903002343901575

規則的なマイクロ波の場を発生させる装置

Inventor： ミヒヤエル ガイスラー ,  ミヒヤエル ユング ,  ベルンハルト ケスラー
Applicant, Patent owner： レイボルト アクチーエンゲゼルシヤフト
Agent (1)： 鈴木 弘男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991331383
Publication number (International publication number)：1993063413
Application date： Nov. 20, 1991
Publication date： Mar. 12, 1993
Summary：

【要約】 (修正有)【目的】 均質な場としてマイクロ波を大面積で室内に入射させることができ、その室内ではマイクロ波結合体は互いに減結合されているマイクロ波結合部材を有する装置を提供すること。【構成】 マイクロ波発生器7〜12、空洞共振器2、結合部材21〜28、プラズマ室3、仕切り壁29、結合装置を備え、仕切り壁6が空洞共振器2をプラズマ室3から気密に分離し、空洞共振器2内に第1の部材を設け、室内に第2の部材を設け、仕切り壁29に閉鎖部材を有する透孔を形成し、第1の部材を結合する結合部材21〜28が閉鎖部材を通して挿通されている。

Claim (excerpt)：

マイクロ波発生器7〜12と、空洞共振器2、40、121、200、210と、マイクロ波発生器7〜12を空洞共振器2、40、121、200、201に結合する結合部材6と、壁47、237、238によって画成される室3、4、41、122と、空洞共振器2、40、121、200、201と室3、4、41、122間の電気的に導通する材料からなる仕切り壁29、300、301と、 固体として形成された多数の結合部材21〜28、203、204、230からなり、空洞共振器2、40、121、200、201から電磁エネルギを室3、4、41、122内に導入する結合装置と、を有する比較的大きな区間にわたって均質なマイクロ波の場を発生させる装置において、仕切り壁29、300、301が空洞共振器2、40、121、200、201を室3、4、41、122から気密に分離し、空洞共振器2、40、121、200、201内には、空洞共振器2、40、121、200、201からの電磁エネルギを吸収することのできる第1の部材例えば102、203が設けられ、室3、441、122内には、電磁エネルギを室3、4、41、122内へ放出することのできる第2の部材例えば103、249、303が設けられており、仕切り壁29、300、301に電気的に非導通の閉鎖部材106、224、231を有する透孔が形成され、第1の部材102、203、306を互いに結合する電気的に導通する結合部材111、304、305が前記閉鎖部材106、224、231を通して挿通されることを特徴とする均質なマイクロ波を発生させる装置。

IPC (2)：

H01P 7/06 ,  B01J 19/12