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J-GLOBAL ID：200903002357966262

真空蒸着法およびディスプレイ製造方法

Inventor： 笹岡 龍哉 ,  山田 二郎 ,  平野 貴之 ,  関谷 光信 ,  佐野 直樹 ,  中山 徹生 ,  千葉 安浩
Applicant, Patent owner： ソニー株式会社
Agent (1)： 船橋 國則
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998365975
Publication number (International publication number)：2000192229
Application date： Dec. 24, 1998
Publication date： Jul. 11, 2000
Summary：

【要約】【課題】 少ない工程数で高精度なパターンニングを行うようにすること。【解決手段】 本発明は、蒸着を行うガラス基板1に対向して、複数の蒸発源S1〜S3を所定の間隔で配置する工程と、スリット2aの形成されたマスク2をガラス基板1と複数の蒸発源S1〜S3との間に配置する工程と、複数の蒸発源S1〜S3から蒸発物質を出射し、マスク2のスリット2aを介してガラス基板1上の各々異なる位置に各蒸発物質を付着させる工程とを備えている。

Claim (excerpt)：

蒸着を行う基板に対向して、複数の蒸発源を所定の間隔で配置する工程と、スリットの形成されたマスクを前記基板と前記複数の蒸発源との間に配置する工程と、前記複数の蒸発源から蒸発物質を出射し、前記マスクのスリットを介して前記基板上の各々異なる位置に各蒸発物質を付着させる工程とを備えていることを特徴とする真空蒸着法。

IPC (5)：

C23C 14/24 ,  G09F 9/30 337 ,  H05B 33/10 ,  H05B 33/12 ,  H05B 33/14

FI (5)：

C23C 14/24 S ,  G09F 9/30 337 ,  H05B 33/10 ,  H05B 33/12 B ,  H05B 33/14 A

F-Term (33)：

3K007AB18 ,  3K007BA06 ,  3K007CA01 ,  3K007CB01 ,  3K007DA01 ,  3K007DB03 ,  3K007EB00 ,  3K007FA01 ,  4K029AA09 ,  4K029BA07 ,  4K029BA62 ,  4K029BC09 ,  4K029CA01 ,  4K029DB14 ,  4K029HA04 ,  5C094AA05 ,  5C094AA43 ,  5C094AA44 ,  5C094AA48 ,  5C094BA12 ,  5C094BA29 ,  5C094CA18 ,  5C094CA24 ,  5C094DA13 ,  5C094EA05 ,  5C094EB02 ,  5C094FA01 ,  5C094FA02 ,  5C094FB01 ,  5C094FB02 ,  5C094FB03 ,  5C094FB12 ,  5C094GB10