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J-GLOBAL ID：200903002364830953
走査型電子顕微鏡
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
土橋 皓
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992084021
Publication number (International publication number)：1994089686
Application date： Apr. 06, 1992
Publication date： Mar. 29, 1994
Summary：
【要約】【目的】小型試料室と大型試料室の2つの試料室を備えた走査型電子顕微鏡において、小型試料室を大型試料室と同時に使用する場合においても、小型試料室の真空度をより高くして、分解能の高い観察を行うことを目的とする。【構成】前記小型試料室と前記大型試料室との間の隔壁にオリフィスを設けると共に、該小型試料室及び該大型試料室の夫々に、該小型試料室及び該大型試料室の真空度を上げる真空ポンプを設けるように構成する。
Claim 1：
電子銃に近い側から、小型試料観察用の第1対物レンズ及び小型試料室と、大型試料観察用の第2対物レンズ及び大型試料室とを配置し、前記第1対物レンズの近傍に設けられた第1試料台と、前記第2対物レンズの近傍に設けられた第2試料台とを有する電子顕微鏡において、前記小型試料室と前記大型試料室との間の隔壁にオリフィスを設けると共に、該小型試料室及び該大型試料室の夫々に前記第1試料台及び第2試料台近傍の真空度を上げる真空ポンプを設けたことを特徴とする走査型電子顕微鏡。
IPC (3)：
H01J 37/20
, H01J 37/18
, H01J 37/28
