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J-GLOBAL ID：200903002380085923
管内大気圧グロープラズマ反応方法
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
西澤 利夫
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1990409460
Publication number (International publication number)：1993202481
Application date： Dec. 28, 1990
Publication date： Aug. 10, 1993
Summary：
【要約】【目的】 円筒管等の絶縁体管の内面や内部の静止、移動または流通物を大気圧下でプラズマ処理あるいは反応する。【構成】 外周部に一対のスパイラル状平行電極対を設けた絶縁体管の一端部から反応性ガスと希ガスとの混合ガスを導入し、大気圧下で管内部にグロー放電プラズマを発生させて、管内面、または管内部の静止、移動あるいは流通物を処理する。
Claim (excerpt)：
外周部に一対のスパイラル状平行電極対を設けた絶縁体管の一端部から反応性ガスと希ガスとの混合ガスを導入し、大気圧下で管内部にグロー放電プラズマを発生させて、管内面、または管内部の静止、移動あるいは流通物を処理することを特徴とする管内大気圧グロープラズマ反応方法。
IPC (3)：
C23C 16/50
, C08F 2/52 MDY
, H05H 1/46
