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J-GLOBAL ID:200903002396334567

酸化チタン膜の作製方法

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1999190840
Publication number (International publication number):2000344522
Application date: May. 31, 1999
Publication date: Dec. 12, 2000
Summary:
【要約】【課題】 低温焼成を可能とすることにより、基材への密着性や透明性に優れ、耐薬品性や耐熱性に劣る材料にも確実にコーティングできると共に、コストや設備の軽減を可能とした酸化チタン膜の作製方法を提供すること。【解決手段】 基材にペルオキソチタン溶液を吹き付ける第一工程と、該ペルオキソチタン溶液を乾燥させる第二工程と、乾燥後、基材を低温焼成する第三工程とからなる酸化チタン膜の作製方法。
Claim (excerpt):
基材にペルオキソチタン溶液を吹き付ける第一工程と、該ペルオキソチタン溶液を乾燥させる第二工程と、乾燥後、基材を低温焼成する第三工程とからなる酸化チタン膜の作製方法。
IPC (3):
C01G 23/053 ,  B01J 35/02 ,  B65D 25/14
FI (3):
C01G 23/053 ,  B01J 35/02 J ,  B65D 25/14 A
F-Term (33):
3E062AA09 ,  3E062AA10 ,  3E062AB02 ,  3E062AB14 ,  3E062AC02 ,  3E062AC03 ,  3E062AC06 ,  3E062JA01 ,  3E062JB23 ,  3E062JC04 ,  3E062JD03 ,  4G047AA02 ,  4G047AB02 ,  4G047AC03 ,  4G047AD02 ,  4G069AA01 ,  4G069AA08 ,  4G069AA15 ,  4G069BA04A ,  4G069BA04B ,  4G069BA27A ,  4G069BA27B ,  4G069BA48A ,  4G069CA01 ,  4G069CA07 ,  4G069CA11 ,  4G069CA17 ,  4G069CD02 ,  4G069CD03 ,  4G069EA07 ,  4G069ED06 ,  4G069FB24 ,  4G069FB30

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